核心規(guī)格

1. 適用介質：壓縮空氣、氮氣（氮氣高 0.99 MPa）；

2. 過濾性能：0.01 μm 精度，顆粒捕捉效率 99.99%；中空纖維膜濾芯；初期壓降 0.03 MPa（入口 0.7 MPa、大流量）；

3. 額定流量：100 L/min（ANR）；

4. 連接口徑：02 對應 Rc 1/4 內螺紋（N02=F02 分別對應 NPT1/4、G1/4）；

5. 工作壓力 / 溫度：20°C 時高 1.0 MPa；工作溫度 5~45°C；

6. 材質：透明聚碳酸酯外殼（便于觀察污染），O 形圈為 H-NBR；可選鋁殼 / 不銹鋼殼用于化學環(huán)境；

7. 更換周期：建議 1 年，或壓降達到 0.1 MPa 立即更換；符合 RoHS 標準；防靜電潔凈包裝。

結構與突出特點

• 卡盤式可更換濾芯設計，維護便捷；透明外殼無需拆卸即可判斷濾芯臟污；

• 中空纖維膜比傳統(tǒng) PTFE 平膜過濾面積更大、容塵量高，壓降更穩(wěn)定；

• 低發(fā)塵材質，適合 Class 1~100 級潔凈室；嚴禁反向安裝；

• 可配 SFD-BR100 支架，便于面板 / 管路固定；有樹脂 / 鋁 / 不銹鋼三種殼體可選。

應用場景

• 半導體晶圓蝕刻 / 沉積腔室吹氣、液晶面板靜電消除器氣源、潔凈室吹掃；

• 生物醫(yī)療、精密分析儀器的載氣 / 保護氣終端過濾；

• 要求極低顆粒數的自動化設備吹氣系統(tǒng)。

安裝與維護要點

1. 潔凈環(huán)境開箱，避免包裝外粉塵進入；安裝前沖洗上游管路；

2. 嚴格區(qū)分 IN/OUT 流向，嚴禁反接，否則過濾失效且損傷濾芯；

3. 濾芯耐壓差 0.1 MPa；避免油霧、液態(tài)水直接進入，建議前置干燥 / 除油霧過濾器；

4. 更換濾芯時，避免用手直接接觸濾材；金屬殼體版本適合有溶劑 / 化學品的惡劣環(huán)境。

供貨型號：

SFD100-N02C04

SFD100-N02C04B

SFD100-N02C06

SFD100-N02C06B

SFD100-N02C08

SFD100-N02C08B

SFD101-02

SFD101-F02

SFD101-N02

SFD102-02

SFD102-F02

SFD102-N02

SFD110-02

SFD110-02B

SFD110-C04

SFD110-C04B

SFD110-C06

SFD110-C06B

SFD110-C08

SFD110-C08B

SFD110-F02

SFD110-F02B

SFD110-N02

SFD110-N02B

SFD200-02

SFD200-02C08

SFD200-02C10

SFD200-02C12

SFD200-C08

SFD200-C0802

SFD200-C08C10

SFD200-C08F02

SFD200-C08N02

SFD200-C10

SFD200-C1002

SFD200-C10C08

SFD200-C10C12

SFD200-C10F02

SFD200-C10N02

SFD200-C12

SFD200-C1202

SFD200-C12C10

SFD200-C12F02

SFD200-C12N02

SFD200-F02

SFD200-F02C08

SFD200-F02C10

SFD200-F02C12

SFD200-N02C08

SFD200-N02C10

SFD200-N02C12